SJ 21200-2016 平板式等离子体增强化学气相淀积设备通用规范_标准下载

SJ 21200-2016 平板式等离子体增强化学气相淀积设备通用规范

行业标准-SJ 电子强制性

本规范规定了平板式等离子体增强化学气相淀积设备(以下简称设备)的通用要求、质量保证规定、交货准备和说明事项。本规范适用于平板式等离子体增强化学气相淀积设备的设计、生产、检验、验收和订购。

中国电子科技集团公司第四十八研究所

胡晓宁、刘良玉、陈特超、许波涛、范迎新

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