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SJ 21169-2016 MEMS惯性器件干法刻蚀工艺技术要求

SJ 21169-2016 MEMS惯性器件干法刻蚀工艺技术要求

SJ 21169-2016

行业标准-SJ 电子强制性
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标准SJ 21169-2016标准状态

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标准详情

  • 标准名称：MEMS惯性器件干法刻蚀工艺技术要求
  • 标准号：SJ 21169-2016
    中国标准分类号：L55
  • 发布日期：2016-12-14
    国际标准分类号：31.200
  • 实施日期：2017-03-01
    技术归口：工业和信息化部电子第四研究院
  • 代替标准：
    主管部门：
  • 标准分类：电子学SJ 电子

内容简介

本标准规定了MEMS惯性器件制造过程中干法刻蚀的工艺流程、工艺要求和检验要求。本标准适用于硅片和硅片上介质薄膜(氧化硅、氮化硅)干法刻蚀的工艺。

起草单位

中国电子科技集团公司第十三研究所

起草人

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