SJ 21530-2018 多层共烧陶瓷 表层光刻工艺技术要求
SJ 21530-2018
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标准SJ 21530-2018标准状态
- 发布于：2018-12-29
- 实施于：2019-03-01
- 废止
内容简介
本标准规定了多层共烧陶瓷表层光刻工艺的人员、环境、安全、材料、设备和仪器等一般要求，以及多层共烧陶瓷表层光刻工艺的典型工艺流程、工序技术要求、检验要求等详细要求。本标准适用于多层共烧陶瓷表层光刻工艺。
起草单位
中国电子科技集团公司第十四研究所
起草人
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