标准详情
- 标准名称:声表面波器件划片工艺技术要求
- 标准号:SJ 21499-2018
- 中国标准分类号:L18
- 发布日期:2018-12-29
- 国际标准分类号:33.160
- 实施日期:2019-03-01
- 技术归口:工业和信息化部电子第四研究院
- 代替标准:
- 主管部门:
- 标准分类:电信、音频和视频工程SJ 电子
本标准规定了声表面波器件划片工艺的人员、环境、安全、材料、设备和仪器等一般要求,以及声表面波器件划片工艺的典型工艺流程、各工序技术、检验等详细要求。本标准适用于军用声表面波器件砂轮划片工艺。
中国电子科技集团公司第二十六研究所
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