SJ 21479-2018 磷化铟晶片研磨工艺技术要求
SJ 21479-2018
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标准SJ 21479-2018标准状态
- 发布于：2018-12-29
- 实施于：2019-03-01
- 废止
内容简介
本标准规定了军用磷化铟晶片研磨工艺的人员、环境、安全、材料、设备和仪器等一般要求，以及磷化铟晶片研磨工艺的典型工艺流程、各工序技术要求、检验要求等详细要求。本标准适用于磷化铟晶片研磨工艺。
起草单位
中国电子科技集团公司第十三研究所
起草人
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