SJ 21534-2018 微波功率器件用氮化镓外延片规范_标准下载

SJ 21534-2018 微波功率器件用氮化镓外延片规范

行业标准-SJ 电子强制性

本规范规定了微波功率器件用氮化镓外延片(以下简称氮化镓外延片)的技术要求、质量保证规定、交货准备等内容。本规范适用于微波功率器件用氮化镓高电子迁移率晶体管(GaNHEMT)外延片，也适用于微波单片集成电路用GaNHEMT外延片。

中国电子科技集团公司第五十五研究所

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