YS/T 1654-2023 氮化镓化学分析方法痕量杂质元素含量的测定辉光放电质谱法_标准下载

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YS/T 1654-2023 氮化镓化学分析方法痕量杂质元素含量的测定辉光放电质谱法

YS/T 1654-2023

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标准YS/T 1654-2023标准状态

发布于：2023-12-20
实施于：2024-07-01
废止

标准详情

标准名称：氮化镓化学分析方法痕量杂质元素含量的测定辉光放电质谱法
标准号：YS/T 1654-2023
中国标准分类号：H17
发布日期：2023-12-20
国际标准分类号：77.04
实施日期：2024-07-01
技术归口：全国有色金属标准化技术委员会、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会
代替标准：
主管部门：工业和信息化部
标准分类：冶金制造业 YS 有色金属

内容简介

行业标准《氮化镓化学分析方法痕量杂质元素含量的测定辉光放电质谱法》，主管部门为工业和信息化部。本文件规定了氮化镓中杂质元素含量的测定方法。本文件适用于氮化镓中杂质元素含量的测定。各元素测定范围见表1。

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