JB/T 2965-1992 溅射离子泵性能测试方法
标准JB/T 2965-1992标准状态
- 发布于：1992-12-24
- 实施于：1993-07-01
- 废止
内容简介
行业标准《溅射离子泵性能测试方法》，主管部门为机械工业部。本标准规定了溅射离子泵性能测试方法。本标准适用于抽速大于10Ls(-1)的离子泵。
起草单位
沈阳真空技术研究所
起草人
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