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JB/T 2965-1992 溅射离子泵性能测试方法

JB/T 2965-1992 溅射离子泵性能测试方法

JB/T 2965-1992

行业标准-JB 机械推荐性
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标准JB/T 2965-1992标准状态

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标准详情

  • 标准名称：溅射离子泵性能测试方法
  • 标准号：JB/T 2965-1992
    中国标准分类号：J70
  • 发布日期：1992-12-24
    国际标准分类号：23.160
  • 实施日期：1993-07-01
    技术归口：沈阳真空技术研究所
  • 代替标准：代替JB 2965-1981
    主管部门：机械工业部
  • 标准分类：流体系统和通用件JB 机械

内容简介

行业标准《溅射离子泵性能测试方法》，主管部门为机械工业部。本标准规定了溅射离子泵性能测试方法。本标准适用于抽速大于10Ls(-1)的离子泵。

起草单位

沈阳真空技术研究所

起草人

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