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JB/T 4081-1991 溅射离子泵.型式与基本参数

JB/T 4081-1991 溅射离子泵.型式与基本参数

JB/T 4081-1991

行业标准-JB 机械推荐性
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标准JB/T 4081-1991标准状态

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标准详情

  • 标准名称：溅射离子泵.型式与基本参数
  • 标准号：JB/T 4081-1991
    中国标准分类号：J70
  • 发布日期：1991-07-22
    国际标准分类号：23
  • 实施日期：1992-07-01
    技术归口：
  • 代替标准：代替JB 4081-1985被JB/T 4081-2011代替
    主管部门：机械电子工业部
  • 标准分类：流体系统和通用件机械JB 机械

内容简介

行业标准《溅射离子泵型式与基本参数》，主管部门为机械电子工业部。本标准规定了普通型式的溅射离子泵的型式与基本参数。　　本标准适用于二电位的二极型和三极型溅射子泵。

起草单位

起草人

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