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JB/T 6922-1993 真空蒸发镀膜设备

JB/T 6922-1993 真空蒸发镀膜设备

JB/T 6922-1993

行业标准-JB 机械推荐性
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标准详情

  • 标准名称：真空蒸发镀膜设备
  • 标准号：JB/T 6922-1993
    中国标准分类号：J78
  • 发布日期：1993-07-13
    国际标准分类号：23.160
  • 实施日期：1994-07-01
    技术归口：
  • 代替标准：被JB/T 6922-2004代替
    主管部门：机械工业部
  • 标准分类：流体系统和通用件JB 机械

内容简介

行业标准《真空蒸发镀膜设备》，主管部门为机械工业部。本标准规定了真空蒸发镀膜设备的型式与基本参数、技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存等要求。本标准适用于极限压力在7×10-3~7×10-4Pa范围的真空蒸发镀膜设备(以下简称设备)。

起草单位

沈阳真空技术研究所

起草人

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