SJ 20717-1998 氧化锌压电薄膜规范
SJ 20717-1998
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标准SJ 20717-1998标准状态
- 发布于:1998-03-18
- 实施于:1998-05-01
- 废止
内容简介
本规范规定了氧化锌电薄膜的要求、质量保证规定和交货准备等。本规范适用于声体波微波延迟线氧化锌(ZnO)、硅(Si)声表面卷积器、存贮相关器使用的氧化锌压电薄膜。本规范规定了氧化锌压电薄膜的要求、质量保证规定和交货准备等。本规范适用于声体波微波延迟线及氧化锌(ZnO)、硅(Si)声表面波卷积器、存贮相关器使用的氧化锌压电薄膜。
起草单位
电子工业部第二十六研究所
起草人
陈运祥、毕四英、李治成、贾子福、王玉功
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