SJ 20750-1999 军用CMOS电路用抗辐射硅单晶片规范
SJ 20750-1999
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标准SJ 20750-1999标准状态
- 发布于:1999-11-10
- 实施于:1999-12-01
- 废止
内容简介
本规范规定了军用CMOS电路用抗辐射硅单晶片的要求、质量保证规定和交货准备等。本规范适用于军用CMOS电路用直径为50.8mm76.2mm和100mm抗辐射硅单晶片抛光片(以下简称硅片)。本规范规定了军用CMOS电路用抗辐射硅单晶抛光片的要求,质量保证规定和交货准备等。本规范适用于军用CMOS电路用直径为50.8mm、76.2mm和100mm的抗辐射硅单晶抛光片。
起草单位
电子工业部第四十六研究所
起草人
张忆延、段曙光、刘峰
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