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SJ/T 10274-1991 掩模对准曝光机测试方法

SJ/T 10274-1991 掩模对准曝光机测试方法

SJ/T 10274-1991

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标准SJ/T 10274-1991标准状态

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标准详情

  • 标准名称：掩模对准曝光机测试方法
  • 标准号：SJ/T 10274-1991
    中国标准分类号：L95
  • 发布日期：1991-11-12
    国际标准分类号：31-550
  • 实施日期：1992-01-01
    技术归口：
  • 代替标准：
    主管部门：电子工业部
  • 标准分类：电子学SJ 电子

内容简介

行业标准《掩模对准曝光机测试方法》，主管部门为电子工业部。本标准规定了测试掩模对准曝光机的一般要求和方法。本标准适用于接触式和接触一接近式曝光机。

起草单位

国营南光机器厂

起草人

标准主要起草人 唐志宇、武又文

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