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SJ/T 10458-1993 俄歇电子能谱术语和X射线光电子谱术语的样品处理标准导则

SJ/T 10458-1993 俄歇电子能谱术语和X射线光电子谱术语的样品处理标准导则

SJ/T 10458-1993

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  • 标准名称：俄歇电子能谱术语和X射线光电子谱术语的样品处理标准导则
  • 标准号：SJ/T 10458-1993
    中国标准分类号：L00
  • 发布日期：1993-12-17
    国际标准分类号：31.020
  • 实施日期：1994-06-01
    技术归口：
  • 代替标准：
    主管部门：电子工业部
  • 标准分类：电子学SJ 电子

内容简介

行业标准《俄歇电子能谱术语和X射线光电子谱术语的样品处理标准导则》，主管部门为电子工业部。本标准导则适用于俄歇电子能谱术(AES)和X射线光电子能谱术(XPS)，也适用于其他表面灵敏分析技术。本标准导则可能涉及有害的操作、设备及物质，但没有说明所有相关的安全问题。使用者在使用本导则前，应该制定适当的安全与保健措施，并确定本导则的应用范围。

起草单位

天津电子材料研究所

起草人

标准主要起草人；任殿胜、严如岳、罗兴华、李岩松、华庆恒

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