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SJ/T 10478-1994 磁控溅射设备通用技术条件

SJ/T 10478-1994 磁控溅射设备通用技术条件

SJ/T 10478-1994

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标准SJ/T 10478-1994标准状态

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标准详情

  • 标准名称：磁控溅射设备通用技术条件
  • 标准号：SJ/T 10478-1994
    中国标准分类号：L98
  • 发布日期：1994-04-11
    国际标准分类号：17.220
  • 实施日期：1994-10-01
    技术归口：
  • 代替标准：
    主管部门：电子工业部
  • 标准分类：计量学和测量、物理现象SJ 电子

内容简介

行业标准《磁控溅射设备通用技术条件》，主管部门为电子工业部。本标准规定了磁控溅射设备的术语、产品分类、技术要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存等。本标准适用于磁控溅射设备。

起草单位

国营南光机器厂标准化研究所

起草人

标准主要起贺学红、陆裕芳、武又文、靳毅、金和东、赵雨生

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