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SJ/T 10584-1994 微电子学光掩蔽技术术语

SJ/T 10584-1994 微电子学光掩蔽技术术语

SJ/T 10584-1994

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标准SJ/T 10584-1994标准状态

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标准详情

  • 标准名称：微电子学光掩蔽技术术语
  • 标准号：SJ/T 10584-1994
    中国标准分类号：A42
  • 发布日期：1994-08-08
    国际标准分类号：
  • 实施日期：1994-12-01
    技术归口：
  • 代替标准：
    主管部门：电子工业部
  • 标准分类：SJ 电子电子

内容简介

行业标准《微电子学光掩蔽技术术语》，主管部门为电子工业部。本标准规定了微电子学光掩蔽技术的有关术语。本标准适用于黴电子学光掩蔽技术的科研、生产、教学、贸易和技术交流。

起草单位

起草人

吴保华、于向东、阵宝钦、冯朝斌、陈华龙、廖温初

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