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SJ/T 11131-1997 蒸发镀膜设备基本参数系列

SJ/T 11131-1997 蒸发镀膜设备基本参数系列

SJ/T 11131-1997

行业标准-SJ 电子推荐性
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标准SJ/T 11131-1997标准状态

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标准详情

  • 标准名称：蒸发镀膜设备基本参数系列
  • 标准号：SJ/T 11131-1997
    中国标准分类号：L95
  • 发布日期：1997-09-02
    国际标准分类号：31-550
  • 实施日期：1998-01-01
    技术归口：电子工业部标准化研究所
  • 代替标准：代替SJ 1098-1977;SJ 1099-1977(部分)
    主管部门：电子工业部
  • 标准分类：电子学SJ 电子

内容简介

行业标准《蒸发镀膜设备基本参数系列》，主管部门为电子工业部。本标准规定了蒸发镀膜设备基本参数系列。本标准适用于极限压力为3×10^(-3)P|(a)～5×10^(-6)P|(a)范围内的钟罩式和箱式蒸发镀膜设备。

起草单位

成都南光实业股份有限公司

起草人

标准起陈华先、谭丽、康开丽

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