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SJ/T 11184-1998 显影设备通用规范

SJ/T 11184-1998 显影设备通用规范

SJ/T 11184-1998

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  • 标准名称：显影设备通用规范
  • 标准号：SJ/T 11184-1998
    中国标准分类号：L95
  • 发布日期：1998-03-11
    国际标准分类号：31-550
  • 实施日期：1998-05-01
    技术归口：
  • 代替标准：代替SJ 3194-1988
    主管部门：电子工业部
  • 标准分类：电子学SJ 电子

内容简介

行业标准《显影设备通用规范》，主管部门为电子工业部。本标准规定了显影设备的定义、要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存。本标准适用于半导体集成电路、晶体管中的硅片、石英铬板、玻璃板等的显影设备。

起草单位

起草人

马化营、王彦宁、郝恭

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