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SJ/T 31066-1994 3180型溅射台完好要求和检查评定方法

SJ/T 31066-1994 3180型溅射台完好要求和检查评定方法

SJ/T 31066-1994

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本标准规定了3180型溅射台的完好要求和检查、评定方法。本标准用于半导体器件、集成电路生产用类似3180型结构的溅射台；其它型号、规格的溅射台，亦可参照有关条款执行。

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