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SJ/T 31115-1994 精缩机完好要求和检查评定方法

SJ/T 31115-1994 精缩机完好要求和检查评定方法

SJ/T 31115-1994

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本标准规定了半导体器件生产用精缩机的完好要求和检查、评定方法。本标准适用于3696型、3595型、EM250型精缩机，其它型号的精缩机，亦可参照执行。

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