标准详情
- 标准名称:FLB型复合真空泵完好要求和检查评定方法
- 标准号:SJ/T 31157-1994
- 中国标准分类号:L95
- 发布日期:2017-05-12
- 国际标准分类号:31-550
- 实施日期:1991-07-01
- 技术归口:
- 代替标准:
- 主管部门:
- 标准分类:电子学电子元器件与信息技术SJ 电子电子工业生产设备加工专用设备
本标准规定了FLB型复合离子泵的完好要求和评定方法。本标准适用于FLB型复合离子泵。
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