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SJ/T 31126-1994 YL-1型MOCVD设备完好要求和检查评定方法

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SJ/T 31126-1994

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本标准规定了金属有机化合物化学汽相淀积设备(简称MOCVD设备)的完好要求和检查、评定方法。本标准适用于YL-I型MOCVD设备。

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