当前位置：标准网 行业标准

YS/T 14-1991 导质外延层和硅夕晶层厚度测量方法

YS/T 14-1991 导质外延层和硅夕晶层厚度测量方法

YS/T 14-1991

行业标准-YS 有色金属推荐性
收藏报错

标准YS/T 14-1991标准状态

  1. 发布于：
  2. 实施于：
  3. 废止

标准详情

  • 标准名称：导质外延层和硅夕晶层厚度测量方法
  • 标准号：YS/T 14-1991
    中国标准分类号：H21
  • 发布日期：1991-04-26
    国际标准分类号：77.040
  • 实施日期：1992-06-01
    技术归口：
  • 代替标准：被YS/T 14-2015代替
    主管部门：中国有色金属工业总公司
  • 标准分类：冶金YS 有色金属

内容简介

行业标准《导质外延层和硅夕晶层厚度测量方法》，主管部门为中国有色金属工业总公司。

起草单位

上海有色金属研究所

起草人

相近标准

YS/T 14-2015 异质外延层和硅多晶层厚度的测量方法
YS/T 15-2015 硅外延层和扩散层厚度测定 磨角染色法
YS/T 15-1991 硅外延层和扩散层厚度测定磨角染色法
YS/T 23-2016 硅外延层厚度测定 堆垛层错尺寸法
YS/T 23-1992 硅外延层厚度测定堆垛层错尺寸法
GB/T 14847-2010 重掺杂衬底上轻掺杂硅外延层厚度的红外反射测量方法
GB/T 8758-2006 砷化镓外延层厚度红外干涉测量方法
GB/T 14141-2009 硅外延层、扩散层和离子注入层薄层电阻的测定 直排四探针法
SJ/T 10481-1994 硅外延层电阻率的面接触三探针方法

* 特别声明：资源收集自网络或用户上传，版权归原作者所有，如侵犯您的权益，请联系我们处理。

标准网本地下载
  • 标准质量：

    • 下载说明

  • ① 欢迎分享本站未收录或质量优于本站的标准，期待。
    ② 标准出现数据错误、过期或其它问题请点击下方「在线纠错」通知我们，感谢！
    ③ 本站资源均来源于互联网，仅供网友学习交流，若侵犯了您的权益，请联系我们予以删除。
  • 在线纠错
    • 标准过期 下载问题 模糊有误 其它问题

    「相关推荐」