YS/T 14-1991 导质外延层和硅夕晶层厚度测量方法
标准YS/T 14-1991标准状态
- 发布于：1991-04-26
- 实施于：1992-06-01
- 废止
内容简介
行业标准《导质外延层和硅夕晶层厚度测量方法》，主管部门为中国有色金属工业总公司。
起草单位
上海有色金属研究所
起草人
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