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YS/T 26-1992 硅片边缘轮廓检验方法

YS/T 26-1992 硅片边缘轮廓检验方法

YS/T 26-1992

行业标准-YS 有色金属推荐性
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标准YS/T 26-1992标准状态

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标准详情

  • 标准名称：硅片边缘轮廓检验方法
  • 标准号：YS/T 26-1992
    中国标准分类号：H20
  • 发布日期：1992-03-09
    国际标准分类号：29.045
  • 实施日期：1993-01-01
    技术归口：
  • 代替标准：被YS/T 26-2016代替
    主管部门：中国有色金属工业总公司
  • 标准分类：有色金属电气工程YS 有色金属

内容简介

行业标准《硅片边缘轮廓检验方法》，主管部门为中国有色金属工业总公司。

起草单位

起草人

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