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YS/T 25-1992 硅抛光片表面清洗方法

YS/T 25-1992 硅抛光片表面清洗方法

YS/T 25-1992

行业标准-YS 有色金属推荐性
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标准YS/T 25-1992标准状态

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标准详情

  • 标准名称：硅抛光片表面清洗方法
  • 标准号：YS/T 25-1992
    中国标准分类号：H22
  • 发布日期：1992-03-09
    国际标准分类号：29.045
  • 实施日期：1993-01-01
    技术归口：
  • 代替标准：
    主管部门：中国有色金属工业总公司
  • 标准分类：电气工程YS 有色金属

内容简介

行业标准《硅抛光片表面清洗方法》，主管部门为中国有色金属工业总公司。本标准规定了硅抛光片表面的清洗方法。本标准适用于硅抛光片表面的清洗。经清洗后表面再现原来的状态。本标准不适用于表面存在环氧树脂之类有机残留物的硅抛光片的清洗。

起草单位

上海第二冶炼厂

起草人

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