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JC/T 181-2011 半导体用透明石英玻璃器件

JC/T 181-2011 半导体用透明石英玻璃器件

JC/T 181-2011

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标准详情

  • 标准名称：半导体用透明石英玻璃器件
  • 标准号：JC/T 181-2011
    中国标准分类号：Q35
  • 发布日期：2011-12-20
    国际标准分类号：81.040
  • 实施日期：2012-07-01
    技术归口：全国工业玻璃和特种玻璃标准化技术委员会
  • 代替标准：代替JC/T 181-1981
    主管部门：工业和信息化部
  • 标准分类：玻璃和陶瓷工业玻璃玻璃产品JC 建材

内容简介

行业标准《半导体用透明石英玻璃器件》由全国工业玻璃和特种玻璃标准化技术委员会归口上报，主管部门为工业和信息化部。本标准规定了半导体用透明石英玻璃器件的术语和定义、分类和标记、材料、要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存等。本标准适用于半导体行业生产中使用的透明石英玻璃器件，包括透明石英玻璃扩散管、透明石英玻璃舟、透明石英玻璃保温桶、透明石英托架、透明石英瓶、透明石英清洗缸等。其他用途的透明石英玻璃器件可参照本标准执行。

起草单位

中国建筑材料检验认证中心、中国建筑材料科学研究总院

起草人

吴洁、杨小会

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