标准详情
- 标准名称:重掺半导体载流子浓度的红外反射测试方法
- 标准号:SJ 2757-1987
- 中国标准分类号:L90
- 发布日期:1987-02-10
- 国际标准分类号:31-030
- 实施日期:1987-07-01
- 技术归口:
- 代替标准:
- 主管部门:
- 标准分类:电子学技术管理综合标准化管理与一般规定SJ 电子
本标准适用于测量重掺半导体体材料载流子浓度,也适用于测量外延层、埋层和扩散层的载流子浓度。
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