当前位置：标准网 行业标准

SJ 2797-1987 电子级氩

SJ 2797-1987 电子级氩

SJ 2797-1987

行业标准-SJ 电子强制性
收藏报错

标准SJ 2797-1987标准状态

  1. 发布于：
  2. 实施于：
  3. 废止

标准详情

内容简介

本标准适用于半导体材料、分立器件和集成电路生产工艺过程中使用的电子级氩、按其使用要求电子级氩分为两级，代号为：电子 Ⅰ级氩代号为：DZAr-Ⅰ ; Ⅱ级氩代号为：DZAr- Ⅱ本标准适用于半导体材料、分立器件和集成电路生产工艺过程中使用的电子级氩，按其使用要求电子级氩分为两级，代号为：电子Ⅱ级氩代号为：DZAr-Ⅱ；电子I级氩代号为：DZAr-I。

起草单位

电子工业部标准化研究所

起草人

赵长春、周定华

相近标准

SJ2799-1987电子级气体中痕量水分子的测定方法目视露点法
SJ2800-1987电子级气体中痕量甲烷的测定方法氢焰色谱法
SJ2801-1987电子级气体中痕量一氧化碳的测定方法预切割氢焰转化色谱法
SJ2802-1987电子级气体中痕量二氧化碳测定方法氢焰转化色谱法
SJ2803-1987电子级氧中痕量二氧化碳测定方法预切割氢焰转化色谱法
SJ2804.1-1987电子级氩中痕量氮测定方法变温浓缩色谱法（一）
SJ2804.2-1987电子级氩中痕量氮测定方法变温浓缩色谱法（二）
SJ2805-1987电子级氢中痕量氧＋氩、氮测定方法变温浓缩色谱法
SJ2806-1987电子级氢中痕量氧和氮测定方法变温浓缩色谱法
SJ2807-1987电子级气体中痕量氢的测试方法气敏色谱法

* 特别声明：资源收集自网络或用户上传，版权归原作者所有，如侵犯您的权益，请联系我们处理。

标准网本地下载
  • 标准质量：

    • 下载说明

  • ① 欢迎分享本站未收录或质量优于本站的标准，期待。
    ② 标准出现数据错误、过期或其它问题请点击下方「在线纠错」通知我们，感谢！
    ③ 本站资源均来源于互联网，仅供网友学习交流，若侵犯了您的权益，请联系我们予以删除。
  • 在线纠错
    • 标准过期 下载问题 模糊有误 其它问题

    「相关推荐」