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SJ 2794-1987 电子级氢

SJ 2794-1987 电子级氢

SJ 2794-1987

行业标准-SJ 电子强制性
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标准SJ 2794-1987标准状态

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内容简介

本标准适用于半导体材料、分立器体和集成电路生产工艺过程中使用的电子级氮，按其使用要求电子级氢，分为三级，代号为：电子Ⅰ级氮代号为：DZN2-Ⅰ；电子Ⅱ级氮代号为：DZN2-Ⅱ；电子Ⅲ级氮代号为：DZN2-Ⅲ。本标准适用予半导体材料、分立器件和集成电路生产工艺过程中使用的电子级氧。按其使用要求电子级氢分为三级。代号为：电子Ⅲ级氢代号为；DZH|(2)-Ⅲ；电子Ⅱ级氢代号为；DZH|(2)-Ⅱ；电子I级氢代号为；DZH|(2)-I。

起草单位

电子工业部标准化研究所

起草人

尹恩华、赵长春、周定华

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