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SJ 3248-1989 重掺砷化镓和磷化铟载流子浓度的红外反射测试方法

SJ 3248-1989 重掺砷化镓和磷化铟载流子浓度的红外反射测试方法

SJ 3248-1989

行业标准-SJ 电子强制性
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  • 标准名称：重掺砷化镓和磷化铟载流子浓度的红外反射测试方法
  • 标准号：SJ 3248-1989
    中国标准分类号：H80
  • 发布日期：1989-03-20
    国际标准分类号：29.045
  • 实施日期：1989-03-25
    技术归口：
  • 代替标准：
    主管部门：
  • 标准分类：电气工程技术管理综合标准化管理与一般规定SJ 电子

内容简介

本标准规定了红外反射法测量重掺砷化镓和磷化铟载流子浓度的测量原理，仪器设备、样品制备、测量步骤。结果计算和精度等。本标准适用于测量重掺砷化镓和磷化锢单晶载流子浓度，也适用于测量外延层的载流子浓度。

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