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SJ 3244.3-1989 砷化镓、磷化铟单晶晶向的测量方法

SJ 3244.3-1989 砷化镓、磷化铟单晶晶向的测量方法

SJ 3244.3-1989

行业标准-SJ 电子强制性
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标准SJ 3244.3-1989标准状态

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本标准规定了砷化镓、磷化铟单晶锭端面及晶片晶向的X射线衍射测量原理、测量步骤、结果计算以及精度。本标准适用于晶片表面大体平行于(10^(·)以内)某一低密勒指数原子面的单晶片的晶向测定。

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