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SJ 3244.2-1989 砷化镓、磷化铟衬底与异质结外延层之间晶格失配的测量方法

SJ 3244.2-1989 砷化镓、磷化铟衬底与异质结外延层之间晶格失配的测量方法

SJ 3244.2-1989

行业标准-SJ 电子强制性
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标准SJ 3244.2-1989标准状态

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  • 标准名称：砷化镓、磷化铟衬底与异质结外延层之间晶格失配的测量方法
  • 标准号：SJ 3244.2-1989
    中国标准分类号：H80
  • 发布日期：1989-03-20
    国际标准分类号：29.045
  • 实施日期：1989-03-25
    技术归口：
  • 代替标准：
    主管部门：
  • 标准分类：电气工程技术管理综合标准化管理与一般规定SJ 电子

内容简介

本标准规定了异质结外延层与衬底之间晶格失配的测量原理、步骤、计算方法。本标准适田于以下范围：外延层表面晶向偏差小于1.5^(·)。多层外延层总厚度不大于10μm。

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