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SJ/Z 2927-1988 集成电路制版设备名词术语

SJ/Z 2927-1988 集成电路制版设备名词术语

SJ/Z 2927-1988

行业标准-SJ 电子强制性
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标准SJ/Z 2927-1988标准状态

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本指导性技术文件规定的名词术语适用于集成电路光学制版主要设备的研制、使用、测试及验收。

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