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SJ 1551-1979 硅外延层电阻率测试方法（电容-电压法）(暂行)

SJ 1551-1979 硅外延层电阻率测试方法（电容-电压法）(暂行)

SJ 1551-1979

行业标准-SJ 电子强制性
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  • 标准名称：硅外延层电阻率测试方法（电容-电压法）(暂行)
  • 标准号：SJ 1551-1979
    中国标准分类号：L90
  • 发布日期：1980-06-01
    国际标准分类号：31-030
  • 实施日期：2010-02-25
    技术归口：
  • 代替标准：
    主管部门：第四机械工业部
  • 标准分类：冶金电子学SJ 电子半金属与半导体材料半金属

内容简介

本标准规定了N/N、P/P结构硅外延片的净杂质浓度，通过净杂质浓度与电阻率的关系曲线，可求得电阻率。

起草单位

起草人

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