SJ 20844-2002 半绝缘砷化镓单晶微区均匀性测试方法_标准下载

SJ 20844-2002 半绝缘砷化镓单晶微区均匀性测试方法

行业标准-SJ 电子强制性

本标准规定了半绝缘砷化镓晶片中电阻率、碳浓度、EL2浓度和PL谱微区均匀性测量方法。本标准适用于半绝缘砷化镓晶片中电阻率、碳浓度、EL2浓度和PL谱微区均匀性的测试。

中国电子科技集团公司第四十六所

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