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SJ/T 11502-2015 碳化硅单晶抛光片规范

SJ/T 11502-2015 碳化硅单晶抛光片规范

SJ/T 11502-2015

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标准SJ/T 11502-2015标准状态

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  • 标准名称：碳化硅单晶抛光片规范
  • 标准号：SJ/T 11502-2015
    中国标准分类号：H83
  • 发布日期：2015-04-30
    国际标准分类号：29.045
  • 实施日期：2015-10-01
    技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
  • 代替标准：
    主管部门：工业和信息化部
  • 标准分类：电气工程半导体材料SJ 电子

内容简介

行业标准《碳化硅单晶抛光片规范》由全国半导体设备和材料标准化技术委员会归口上报，主管部门为工业和信息化部。本规范规定了碳化硅单晶抛光片的术语和定义、牌号、要求、试验方法、检验规则以及包装、标志、贮存和运输等内容。本规范适用于晶型为6H和4H,单面或双面抛光,直径100mm及以下的碳化硅单晶抛光片。其它晶型或尺寸的碳化硅单晶抛光片可参照使用。

起草单位

中国电子科技集团公司第四十六研究所、北京天科合达蓝光半导体有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究院、河北问光晶体有限公司

起草人

丁丽、郑红军、蔺娴

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