JJF 1351-2012 扫描探针显微镜校准规范_标准下载

JJF 1351-2012 扫描探针显微镜校准规范

计量标准

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本规范适用于以几何表面形貌为测量对象的扫描探针显微镜的校准。扫描探针显微镜根据其设计原理不同，校准时需要根据实际情况选择相关的计量特性。对有特殊要求的测量任务，如对溯源要求较高的测量，不在本校准规范的适用范围。

中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所、上海计量测试技术研究院、贵州计量测试院

朱振宇、任冬梅、傅云霞、李源、吕小洁

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