标准详情
- 标准名称：椭偏仪校准规范
- 标准号：JJF 1932-2021
- 标准状态：即将实施
- 发布日期：2021-12-08
- 归口单位全国光学计量技术委员会
- 实施日期：2022-06-08
- 发布部门：国家市场监督管理总局
- 代替标准：JJF1497,GJB/J5463,SEMIE141-0705,HandbookofEllipsometry椭偏术手册HGTompkinsandEAIrene(eds.)WilliamAndrewPublishing2005,Ellipso
- 标准类别：计量检定规程
- 文件格式：纸质版或者PDF电子版（用Acrobat Reader打开）或Word版本doc格式