标准详情
- 标准名称：半导体工艺用定时器校准规范
- 标准号：JJF(电子)0052-2020
- 标准状态：现行
- 发布日期：2020-12-09
- 归口单位
- 实施日期：2020-12-09
- 发布部门：国家市场监督管理总局
- 代替标准：
- 标准类别：计量检定规程
- 文件格式：纸质版或者PDF电子版（用Acrobat Reader打开）或Word版本doc格式
JJF(电子)0052-2020 半导体工艺用定时器校准规范
JJF(电子)0052-2020
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标准JJF(电子)0052-2020标准状态
- 发布于：2020-12-09
- 实施于：2020-12-09
- 废止
内容简介
本规范适用于机械型和电子型半导体工艺用定时器的校准。半导体工艺用定时器是一种用于半导体生产过程中控制时间的机械或者电子装置,主要应用于半导体生产工艺过程中的电镀、超声清洗等控制领域。它分为机械型定时器和电子型定时器。
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