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T/GVS 006-2022 半导体射频电源和微波电源的输出偏差稳定性测量方法

T/GVS 006-2022 半导体射频电源和微波电源的输出偏差稳定性测量方法

T/GVS 006-2022

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  • 标准名称：半导体射频电源和微波电源的输出偏差稳定性测量方法
  • 标准号：T/GVS 006-2022
    中国标准分类号：K80/M745
  • 发布日期：2022-05-27
    国际标准分类号：19.080
  • 实施日期：2022-05-27
    团体名称：广东省真空学会
  • 标准分类：K 房地产业试验

内容简介

本文件规定了半导体射频电源和微波电源的输出偏差稳定性测量方法的术语和定义、符号和缩略语、总则、测试条件、测试要求本文件适用于电气工作频率在100kHz～3GHz的半导体装备用射频电源和微波电源产品规定了半导体射频电源和微波电源的输出偏差稳定性测量方法的术语和定义、符号和缩略语、总则、测试条件、测试要求
适用于电气工作频率在100kHz～3GHz的半导体装备用射频电源和微波电源产品

起草单位

季华实验室、中山凯旋真空科技股份有限公司、暨南大学。

起草人

胡琅、陈浩、卫红、李晓峰、高峰、刘彭义、李晓刚、陈科球。

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