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T/GVS 010-2022 真空卷绕镀膜设备通用技术要求

T/GVS 010-2022 真空卷绕镀膜设备通用技术要求

T/GVS 010-2022

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标准T/GVS 010-2022标准状态

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标准详情

  • 标准名称：真空卷绕镀膜设备通用技术要求
  • 标准号：T/GVS 010-2022
    中国标准分类号：J78/C344
  • 发布日期：2022-09-23
    国际标准分类号：23.160
  • 实施日期：2022-09-23
    团体名称：广东省真空学会
  • 标准分类：J 金融业流体系统和通用件

内容简介

本文件规定了真空卷绕镀膜设备通用技术要求的术语和定义、组成、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存本文件适用于真空蒸发卷绕镀膜设备、真空磁控溅射卷绕镀膜设备、真空化学气相沉积（CVD）卷绕镀膜设备规定了真空卷绕镀膜设备通用技术要求的术语和定义、组成、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存
适用于真空蒸发卷绕镀膜设备、真空磁控溅射卷绕镀膜设备、真空化学气相沉积（CVD）卷绕镀膜设备

起草单位

广东腾胜科技创新有限公司、中山凯旋真科技股份有限公司、广东生波尔光电技术有限公司。

起草人

朱刚毅、朱刚劲、杨容军、陈家发、吴洽、李晓刚、姜翠宁、徐从高。

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