标准详情
- 标准名称：MEMS高深宽比结构深度测量方法 光谱反射法
- 标准号：T/ZOIA 30001-2022
- 中国标准分类号：L50/C3990
- 发布日期：2022-12-29
- 国际标准分类号：31.260
- 实施日期：2022-12-29
- 团体名称：中关村光电产业协会
- 标准分类：L 租赁和商务服务业电子学
T/ZOIA 30001-2022 MEMS高深宽比结构深度测量方法 光谱反射法
标准T/ZOIA 30001-2022标准状态
- 发布于：2022-12-29
- 实施于：2022-12-29
- 废止
内容简介
本标准规定了MEMS高深宽比结构深度光谱反射测量的测量原理、测量设备、测量要求、测量方法、测量结果的不确定度评定、合成相对不确定度评定、扩展相对不确定度评定以及测试报告等内容
本标准适用于多种半导体材料上MEMS高深宽比刻蚀结构的深度测量
刻蚀结构包括但不限于单体和阵列的沟槽、柱和孔等
起草单位
中国科学院微电子研究所、中关村光电产业协会、天津大学、北京绿色制造产业联盟、凌云光技术股份有限公司、北京大学、中国计量科学研究院、北京总部企业协会
起草人
陈晓梅、霍树春、卢永红、胡春光、杨艺、曲扬、杨芳、施玉书、马晓雪、谷焱绯
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- 标准质量：
- 发布者资料：
- 凌飞
- 注册时间:2022-10-26
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