T/CASAS 026-2023 碳化硅少数载流子寿命测定微波光电导衰减法_标准下载

T/CASAS 026-2023 碳化硅少数载流子寿命测定微波光电导衰减法

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本文件描述了用微波光电导法测定碳化硅少数载流子寿命的方法
本文件适用于少数载流子寿命为20ns～200μs的碳化硅晶片的寿命测定及质量评价

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