T/CASAS 025-2023 8英寸碳化硅衬底片基准标记及尺寸_标准下载

T/CASAS 025-2023 8英寸碳化硅衬底片基准标记及尺寸

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本文件规定了8英寸碳化硅衬底片基准标记及尺寸本文件适用于碳化硅切割片、研磨片和抛光片注：碳化硅衬底片主要用于制作电力电子器件的外延衬底本文件规定了8英寸碳化硅衬底片基准标记及尺寸
本文件适用于碳化硅切割片、研磨片和抛光片
注：　碳化硅衬底片主要用于制作电力电子器件的外延衬底

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