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T/XAI 12-2021 覆晶薄膜基板电气检查测试方法

T/XAI 12-2021 覆晶薄膜基板电气检查测试方法

T/XAI 12-2021

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内容简介

本文件规定了覆晶薄膜基板电气测试原理、测试条件、测试方法、测试结果评定和测试报告等要求,描述了电气检查测试过程,给出了测试结果要求本文件适用于覆晶薄膜基板的电气检查1范围、2规范性引用文件、3术语和定义、4原理、5测试设备、6样品、7测试程序、8测试结果评定、9测试报告

起草单位

江苏上达半导体有限公司、武汉大学、江苏华商企业管理咨询服务有限公司。

起草人

刘明寒、计晓东、陆文、王健、杨洁、孙彬、李辉、盛家正、陈鹏、孟庆才。

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