T/ZZB 0044-2021 TDR系列单晶生长炉_标准下载

T/ZZB 0044-2021 TDR系列单晶生长炉

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本标准规定了TDR系列单晶生长炉的术语和定义、产品分类、基本要求、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、订购与供货、质量承若。本标准适用于直拉法单晶生长炉（以下简称“单晶炉”）。

本标准由浙江省标准化研究院牵头组织制订。本标准主要起草单位：浙江晶盛机电股份有限公司。

朱亮、傅林坚、曹建伟、张俊、王巍、严绍军、倪军夫、叶钢飞、郑丽霞、邱敏秀

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