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T/ZSA 224-2024 半导体设备前端模块

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T/ZSA 224-2024

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标准T/ZSA 224-2024标准状态

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  • 标准名称：半导体设备前端模块
  • 标准号：T/ZSA 224-2024
    中国标准分类号：C3990
  • 发布日期：2024-04-12
    国际标准分类号：31-550
  • 实施日期：2024-04-13
    团体名称：中关村标准化协会
  • 标准分类：C 制造业31-550

内容简介

本文件规定了半导体设备前端模块的结构及分类、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输及贮存
本文件适用于100mm、125mm、150mm、200mm、300mm晶圆的半导体设备前端模块
其他规格晶圆的半导体设备前端模块可参照执行
本文件规定了半导体设备前端模块的结构及分类、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输及贮存。本文件适用于100mm、125mm、150mm、200mm、300mm晶圆的半导体设备前端模块。其他规格晶圆的半导体设备前端模块可参照执行。

起草单位

北京锐洁机器人科技有限公司、天津锐洁芯导机器人有限公司、北京北方华创微电子装备有限公司、北京燕东微电子科技有限公司、中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟、华海清科（北京）科技有限公司、SMC（中国）有限公司。

起草人

刘冬梅、王强、安国栋、李彤、鲁翠、王勇、赵海洋、李剑锋、刘祎晨、刘福生、周磊。

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