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T/CPIA 0065-2024 异质结电池用等离子体增强化学气相淀积（PECVD）设备

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T/CPIA 0065-2024

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  • 标准名称：异质结电池用等离子体增强化学气相淀积（PECVD）设备
  • 标准号：T/CPIA 0065-2024
    中国标准分类号：C382
  • 发布日期：2024-03-10
    国际标准分类号：27.160
  • 实施日期：2024-03-15
    团体名称：中国光伏行业协会
  • 标准分类：能源和热传导工程C 制造业

内容简介

本文件规定了本征薄膜异质结电池用等离子体增强化学气相沉积（PECVD）设备的术语和定义、工作环境、设备要求、试验方法、检验规则以及包装、标志、搬运和运输、贮存等。本文件适用于本征薄膜异质结电池用PECVD设备。产品主要用于沉积多种薄膜材料，例如非晶硅、微晶硅、二氧化硅、氮化硅薄膜等本征薄膜材料等。

起草单位

中国电子技术标准化研究院、理想万里晖半导体设备（上海）股份有限公司、隆基绿能科技股份有限公司、湖南红太阳光电科技有限公司、北京北方华创微电子装备有限公司、常州捷佳创精密机械有限公司、无锡帝科电子材料股份有限公司、杭州福斯特应用材料股份有限公司、江苏乾景睿科新能源有限公司、浙江润海新能源有限公司、江苏爱康能源研究院有限公司

起草人

王赶强、王慧慧、庄天奇、马哲国、卢俊雄、吴易龙、江伟、朱海剑、张洪旺、周光大、朱晨、刘松民、周春华、谈剑豪

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