T/CI 334-2024 半导体设备隔振系统设计及技术要求_标准下载

T/CI 334-2024 半导体设备隔振系统设计及技术要求

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本文件规定了半导体设备用隔振系统的设计程序、结构型式和技术要求。　本文件适用于隔振器为底部安装的半导体设备隔振系统的设计。　本文件中仪器本身被视为系统中已确定的载荷。

上海大学力学与工程科学学院、上海大学微电子学院、中国科学院上海技术物理研究所、上海卫星工程研究所、浙江零振智能装备有限公司、上海隐冠半导体技术有限公司、上海路博减振科技股份有限公司。

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