标准详情
- 标准名称:硅抛光片表面质量目测检验方法
- 标准号:GB/T 6624-1995
- 中国标准分类号:H21
- 发布日期:1995-04-18
- 国际标准分类号:
- 实施日期:1995-12-01
- 技术归口:全国半导体材料和设备标准化技术委员会
- 代替标准:被GB/T 6624-2009被GB/T 6624-2009代替
- 主管部门:国家标准化管理委员会
- 标准分类:
本标准规定了在一定光照条件下,用目测检验硅单晶单面抛光片(以下简称抛光片)表面质量的方法。 本标准适用于硅抛光片表面质量检验。
国家标准《硅抛光片表面质量目测检验方法》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,主管部门为国家标准化管理委员会。
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